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中圖儀器光學輪廓儀分辨率0.1μm，重復(fù)性0.1%，應(yīng)用領(lǐng)域廣泛，操作簡便，可自動聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數(shù)。廣泛應(yīng)用于如納米材料、航空航天、半導體等各類精密工件表面質(zhì)量要求高的領(lǐng)域中，可以說只有3d非接觸式光學輪廓儀才能達到微型范圍內(nèi)重點部位的納米級粗糙度、輪廓等參數(shù)的測量。

SJ5730輪廓度自動測量儀是一款集成表面粗糙度和輪廓測量的測量儀器，具有12mm的粗糙度測量范圍，分辨率達到1nm，適合測量大曲面上的表面粗糙度，同時具備軸承輪廓度評價功能，能夠滿足軸承行業(yè)的測量需求?？蓮V泛應(yīng)用于精密機械加工、汽車、軸承、機床、模具、精密五金、光學加工等行業(yè)。

SuperViewW1輪廓粗糙度光學測量儀以白光干涉技術(shù)為原理，能夠以優(yōu)于納米級的分辨率，測試各類表面并自動聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數(shù)，廣泛應(yīng)用于光學，半導體，材料，精密機械等等領(lǐng)域。是一款非接觸測量樣品表面形貌的光學測量儀器。

中圖儀器二維輪廓測量儀集成表面粗糙度和輪廓測量的測量功能，它采用超高精度衍射光學測量系統(tǒng)、超高直線度研磨級摩擦導軌、高性能伺服驅(qū)動電機、高性能計算機控制系統(tǒng)技術(shù)，實現(xiàn)對工件表面粗糙度和輪廓進行高精度測量和分析。

SuperViewW1輪廓度光學測量儀是以白光干涉技術(shù)為原理，能以亞納米級精度測量從而實現(xiàn)器件表面形貌3D測量的光學檢測儀器?？蓽y各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等參數(shù)。

SJ5780接觸式輪廓測量儀測量時測針在工件表面做仿形運動掃描（主動掃描），既保持了恒測力，又保證了大的陡坡通過能力，工件調(diào)平操作簡單，同時避免了崩針、掛針等問題?？梢匀砍檀蠓秶B續(xù)掃描，擁有長達數(shù)百毫米的持續(xù)爬坡能力，適合大范圍陡坡表面測量，大工件無需翻轉(zhuǎn)、

中圖儀器3D輪廓光學測量儀測量大尺寸樣品時支持拼接功能，將測量的每一個小區(qū)域整合拼接成完整的圖像，拼接精度在橫向上和載物臺橫向位移精度一致，可達0.1um。可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等參數(shù)。

在同等系統(tǒng)放大倍率下，以白光干涉技術(shù)為原理的SuperViewW1三維光學輪廓儀的檢測精度和重復(fù)精度都高于共聚焦顯微鏡和聚焦成像顯微鏡，在一些納米級和亞納米級超精密加工領(lǐng)域提供高精度檢測功能。