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在同等系統(tǒng)放大倍率下，以白光干涉技術(shù)為原理的SuperViewW1三維光學(xué)輪廓儀的檢測精度和重復(fù)精度都高于共聚焦顯微鏡和聚焦成像顯微鏡，在一些納米級和亞納米級超精密加工領(lǐng)域提供高精度檢測功能。

中圖儀器SuperViewW1白光3D輪廓儀非接觸高精密測量方式，不會劃傷甚至破壞工件，且測量速度快，不必像探頭逐點進行測量。它以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，可測量各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等參數(shù)。

中圖儀器3d三維光學(xué)輪廓儀能對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。廣泛應(yīng)用于光學(xué)，半導(dǎo)體，材料，精密機械等領(lǐng)域。

?中圖儀器非接觸式3d光學(xué)輪廓儀SuperViewW1能夠以優(yōu)于納米級的分辨率，測試各類表面并自動聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數(shù)，廣泛應(yīng)用于光學(xué)，半導(dǎo)體，材料，精密機械等領(lǐng)域。非接觸高精密測量方式，不會劃傷甚至破壞工件，而且測量速度快，不必像探頭逐點進行測量。對高深寬比的溝槽結(jié)構(gòu)，可以快速而準(zhǔn)確的得到理想的測量結(jié)果。

中圖儀器三維光學(xué)表面輪廓測量儀對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析，可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中。

中圖儀器OP光學(xué)輪廓儀由照明光源系統(tǒng)，光學(xué)成像系統(tǒng)，垂直掃描系統(tǒng)以及數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)構(gòu)成。是以白光干涉技術(shù)為原理，能夠以優(yōu)于納米級的分辨率，測試各類表面并自動聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數(shù)的光學(xué)測量儀器。

中圖儀器SuperViewW1三維光學(xué)表面輪廓儀以白光干涉技術(shù)為原理，結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量。

SuperViewW1光學(xué)輪廓儀除了用于測量表面形貌或測量表面輪廓外，還具有測量晶圓翹曲度功能，非常適合晶圓，太陽能電池和玻璃面板的翹曲度測量，應(yīng)變測量以及表面形貌測量。測量速度快，不必像探頭逐點進行測量，非接觸高精密測量也不會劃傷甚至破壞工件。特別對高深寬比的溝槽結(jié)構(gòu)，可以快速而準(zhǔn)確的得到理想的測量結(jié)果。