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SJ6000系列chotest激光干涉儀結(jié)合不同光學(xué)鏡組，可實(shí)現(xiàn)線性測(cè)長(zhǎng)、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測(cè)量；在動(dòng)態(tài)測(cè)量軟件配合下，可實(shí)現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動(dòng)態(tài)測(cè)量與性能檢測(cè)，以及進(jìn)行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動(dòng)態(tài)分析，如振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。

?中圖儀器激光干涉儀sj6000配置主要由SJ6000主機(jī)、EC20環(huán)境補(bǔ)償單元、線性鏡組、SJ6000靜態(tài)測(cè)量軟件等組件構(gòu)成，可滿足0~80m范圍內(nèi)的線性測(cè)量。

SJ6000激光干涉儀?測(cè)量分辨率0.01″，系統(tǒng)測(cè)量精度為±1″，基準(zhǔn)WR50自動(dòng)精密轉(zhuǎn)臺(tái)重復(fù)精度為0.2″。主要特點(diǎn)是小巧便攜、功能強(qiáng)、無(wú)線操作。具有測(cè)量精度高、測(cè)量速度快、高測(cè)速下分辨率高、測(cè)量范圍大等優(yōu)點(diǎn)。

加工中心激光干涉儀常用于數(shù)控機(jī)床精度檢測(cè)和補(bǔ)償?？梢詫⒕€性測(cè)量結(jié)果生成誤差補(bǔ)償表，精確的補(bǔ)償，可以有效地降低運(yùn)動(dòng)軸的位置誤差。具有測(cè)量精度高、測(cè)量范圍大、測(cè)量速度快、高測(cè)速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn)。

SJ6000國(guó)內(nèi)激光干涉儀可實(shí)現(xiàn)線性測(cè)長(zhǎng)、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測(cè)量，還可以實(shí)現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動(dòng)態(tài)測(cè)量與性能檢測(cè)，以及進(jìn)行位移、加速度、速度、振幅與頻率的動(dòng)態(tài)分析，如振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。

?便攜式激光干涉儀器可以將線性測(cè)量結(jié)果生成的誤差補(bǔ)償表，有效地降低運(yùn)動(dòng)軸的位置誤差。

SJ6000激光干涉測(cè)量?jī)x與不同光學(xué)附件結(jié)合，可以測(cè)量距離、直線度、垂直度平行度、平面度。由于儀器為模塊化結(jié)構(gòu)，安裝位置靈活，便于分析機(jī)床誤差來(lái)源；而且測(cè)量時(shí)可以在工作部件運(yùn)動(dòng)過(guò)程中自動(dòng)采集數(shù)據(jù)，更接近機(jī)床的實(shí)際使用狀態(tài)。

中圖儀器SJ6000機(jī)床激光干涉儀精度高，抗干擾能力強(qiáng)，空氣湍流、熱波動(dòng)等影響甚微，不僅能用于實(shí)驗(yàn)室，還可在車間條件下測(cè)量大距離用。滿足現(xiàn)在所有類型數(shù)控機(jī)床精度檢測(cè)，同時(shí)可進(jìn)行動(dòng)態(tài)高速測(cè)量，配以相應(yīng)元件后還可以測(cè)量角度、線速度、平面度、振動(dòng)幅度及速度等。