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SJ6000數(shù)控機床激光干涉儀系統(tǒng)具有豐富的模塊化組件，可根據(jù)具體測量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列，依次為線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動精密轉(zhuǎn)臺。

中圖儀器超精密激光干涉儀sj6000使用高性能氦氖激光器，結(jié)合伺服穩(wěn)頻控制系統(tǒng)，達到高精度穩(wěn)頻(0.05ppm)。集光、機、電、計算機等技術(shù)于一體，產(chǎn)品采用進口高性能氦氖激光器，其壽命可達50000小時；采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)，可實現(xiàn)高精度、抗擾力強、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出。

除了環(huán)境適應(yīng)能力好，SJ6000超精密激光干涉儀在動態(tài)測量軟件配合下還可以進行動態(tài)高速測量，選配相應(yīng)的功能模塊元件后還可以測量振動幅度、平面度、線速度、角速度等。配備了EC20環(huán)境補償單元，由環(huán)境補償主機（內(nèi)置濕度傳感器和氣壓傳感器）、空氣溫度傳感器和3個材料溫度傳感器組成，可實現(xiàn)對空氣溫度、濕度、大氣壓力和材料溫度的實時高精度檢測。

SJ6000光學(xué)激光干涉測量儀測量機床直角如機器軸垂直度誤差測量（數(shù)控機床、坐標(biāo)測量機等），是通過比較直線度值從而確定兩個標(biāo)稱正交坐標(biāo)軸的非直角度，即在同一基準(zhǔn)上對兩個標(biāo)稱正交軸分別進行直線度的測量。然后對兩個軸的直線度進行比較，得出兩個軸的垂直度。

中圖儀器SJ6000機床測量用激光干涉儀測量過程全自動化，效率高。儀器集光、機、電、計算機等技術(shù)于一體，產(chǎn)品采用進口高性能氦氖激光器，其壽命可達50000小時；采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)，可實現(xiàn)高精度、抗擾力強、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出；采用高速干涉信號采集、調(diào)理及細分技術(shù)，可實現(xiàn)高4m/s的測量速度，以及納米級的分辨率；采用高精度環(huán)境補償模塊，可實現(xiàn)激光波長和材料的自動補償。

SJ6000工業(yè)激光干涉儀的靜態(tài)測量軟件可以將線性測量結(jié)果生成誤差補償表，該表涵蓋了各個測量點的補償值，運動控制系統(tǒng)制造商允許通過修改運動軸的補償值來消除該運動軸的位置誤差，精確的補償，可以有效地降低運動軸的位置誤差。

SJ6000激光干涉儀測量設(shè)備測量精度高、速度快，穩(wěn)定性好，配合有環(huán)境補償單元，在環(huán)境變化的情況下，也可以得到較高的測量精度；應(yīng)用范圍廣，可以實現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平面度等幾何量的檢測，結(jié)合軟件系統(tǒng)，也可以用于速度，加速度，振動分析以及穩(wěn)定度等分析，實時監(jiān)控精密加工機床等機器的動態(tài)數(shù)據(jù)，進行動態(tài)特性分析。

SJ6000國產(chǎn)激光光學(xué)干涉儀配合有環(huán)境補償單元，在環(huán)境變化的情況下，也可以得到較高的測量精度。儀器可以實現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平面度等幾何量的檢測；結(jié)合軟件系統(tǒng)，可以用于速度，加速度，振動分析以及穩(wěn)定度等分析；可實時監(jiān)控精密加工機床等機器的動態(tài)數(shù)據(jù)，進行動態(tài)特性分析。