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對(duì)于現(xiàn)代愈發(fā)復(fù)雜的工藝檢測(cè)，諸如半導(dǎo)體、電子封裝及光學(xué)加工等產(chǎn)業(yè)中，由于表面微觀輪廓結(jié)構(gòu)的準(zhǔn)確性決定著產(chǎn)品的功能和效能，所以不管是拋光表面還是粗糙表面的工件（諸如半導(dǎo)體硅片及器件、薄膜厚度、光學(xué)器件表面、其他材料分析及微表面研究），都需要測(cè)...
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一、通過(guò)不同光學(xué)元件形成參考光路和檢測(cè)光路。二、原理過(guò)程：(1)利用干涉原理測(cè)量光程之差從而測(cè)定有關(guān)物理量的光學(xué)儀器。兩束相干光間光程差的任何變化會(huì)非常靈敏地導(dǎo)致干涉條紋的移動(dòng)，而某一束相干光的光程變化是由它所通過(guò)的幾何路程或介質(zhì)折射率的變...
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以共聚焦技術(shù)為原理，用于對(duì)各種精密器件及材料表面進(jìn)行微納米級(jí)測(cè)量的VT6000共聚焦顯微鏡，可對(duì)材料樣品的表面形貌直接進(jìn)行成像，橫向分辨率可達(dá)1nm，Z軸分辨率可達(dá)0.5nm。不僅可對(duì)樣品表面形貌進(jìn)行測(cè)量，提供表征微觀形貌的輪廓尺寸測(cè)量功能...
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熒光顯微鏡主要應(yīng)用在生物領(lǐng)域及醫(yī)學(xué)研究中，能得到細(xì)胞或組織內(nèi)部微細(xì)結(jié)構(gòu)的熒光圖像，在亞細(xì)胞水平上觀察諸如Ca2+、PH值，膜電位等生理信號(hào)及細(xì)胞形態(tài)的變化，是形態(tài)學(xué)，分子生物學(xué)，神經(jīng)科學(xué)，藥理學(xué)，遺傳學(xué)等領(lǐng)域中新一代強(qiáng)有力的研究工具。以共聚...
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影像測(cè)量?jī)x器是廣泛應(yīng)用于機(jī)械、電子、儀表的儀器。主要由機(jī)械主體、標(biāo)尺系統(tǒng)、影像探測(cè)系統(tǒng)、驅(qū)動(dòng)控制系統(tǒng)和測(cè)量軟件等與高精密工作臺(tái)結(jié)構(gòu)組成的光電測(cè)量?jī)x器。一般分為三大類：手動(dòng)影像儀、自動(dòng)影像儀和閃測(cè)影像儀。測(cè)量元素主要有：長(zhǎng)度、寬度、高度、孔距...
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一鍵影像儀是一種新型的影像測(cè)量技術(shù)。它和傳統(tǒng)的二次元影像測(cè)量?jī)x不同的是它不再需要光柵尺位移傳感器作為精度標(biāo)，也不經(jīng)過(guò)大焦距的鏡頭經(jīng)過(guò)放大產(chǎn)品影像來(lái)保障測(cè)量精度。一鍵影像儀通過(guò)一個(gè)大視角大景深的遠(yuǎn)心鏡頭，將產(chǎn)品輪廓影像縮小數(shù)倍或數(shù)十倍后傳遞至...
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共聚焦顯微鏡主要采用3D捕獲的成像技術(shù)，它通過(guò)數(shù)碼相機(jī)針孔的高強(qiáng)度激光來(lái)實(shí)現(xiàn)數(shù)字成像，具有很強(qiáng)的縱向深度的分辨能力。共聚焦顯微鏡成像原理共焦顯微鏡裝置是在被測(cè)對(duì)象焦平面的共軛面上放置兩個(gè)小孔，其中一個(gè)放在光源前面，另一個(gè)放在探測(cè)器前面，如圖...
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一、激光干涉儀，以激光波長(zhǎng)為已知長(zhǎng)度，利用邁克耳遜干涉系統(tǒng)測(cè)量位移的通用長(zhǎng)度測(cè)量。二、激光具有高強(qiáng)度、高度方向性、空間同調(diào)性、窄帶寬和高度單色性等優(yōu)點(diǎn)。目前常用來(lái)測(cè)量長(zhǎng)度的干涉儀，主要是以邁克爾遜干涉儀為主，并以穩(wěn)頻氦氖激光為光源，構(gòu)成一個(gè)...
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